PiPi小型等離子裝置介紹
高頻輸出 200W,反應腔 W130×D130mm。
經濟型、適合于研究開發(fā)用小型等離子清洗機。
特點
● 經濟型等離子清洗機
● 簡單的等離子處理操作
● 等離子模式為RIE模式
用途
● 去除有機物
● 樹脂/膜等表面改質
● 改善粘接效果
● 提高親水性
● 去除金屬氧化物
● 蝕刻
等離子為氣體發(fā)生電離狀態(tài)，形成帶有正電的離子及帶有負電的電子狀態(tài)。等離子為帶有高能量、反應性非常高的狀態(tài)，其容易與物質表面進行反應的特性被廣泛使用。
等離子RIE（Reactive Ion Etching 方式）
RIE是去除物體表面的有機物污垢，同時去除無機物的合適的清洗方式。
RIE方式為加速離子層中的陽離子，沖擊污染表面的物理性清洗方式。
PiPi小型等離子裝置規(guī)格
型號 | PM100 |
等離子方式 | RIE模式 |
電極構造 | 平行平板式 |
高頻輸出 | Max200W |
頻率 | 13.56MHz |
電極尺寸 | W130×D130mm |
外形尺寸 | W438×D520×H565mm |
反應氣體 | Ar |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
反應氣體流量計 | 流量計 |
控制方式 | 程序控制 |
電源 | 單相100V |
真空泵（選配） | 油泵 135L/min（50Hz） |
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