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主營產(chǎn)品:實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)設(shè)備,離心機(jī),食品安全檢測(cè)設(shè)備,水質(zhì)分析,紫外可見分光光度計(jì),液氮罐,萬分之一天平,離心機(jī)生物實(shí)驗(yàn)室工程,移液器

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等離子清洗機(jī)

等離子清洗機(jī)

更新時(shí)間:2024-06-09

訪問量:1248

廠商性質(zhì):代理商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
V1000/1000X/1000XS等離子清洗機(jī)
高頻輸出100~1,000W(V1000)/100~1,000W&1,500W(V1000X/1000XS),電極尺寸 280×280mm(V1000) 300×300mm(V1000X) 400×375mm(V1000XS)
13.56MHz 高頻輸出的,搭載 RIE?DP 雙模式。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單"的

V1000/1000X/1000XS等離子清洗機(jī)

高頻輸出100~1,000W(V1000)/100~1,000W&1,500W(V1000X/1000XS),電極尺寸 280×280mm(V1000) 300×300mm(V1000X) 400×375mm(V1000XS)
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī),搭載 RIE·DP 雙模式。  
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式高性能型號(hào),調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對(duì)應(yīng)多種用途。  
特征  
●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
●可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。  
用途  
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有機(jī)物去除
●界面活性處理
●表面污染物去除  
規(guī)格  

型號(hào)

V1000

V1000X

V1000XS

等離子模式

DP/RIE

高頻電源

13.56MHz

輸出功率

Max1000W

Max1000 & 1500W

有效電極尺寸

W280×D280mm

W300×D300mm

W400×D375mm

電極

平行平板

2段電極(獨(dú)立)

平板(多目的)

反應(yīng)氣體

聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝)

真空泵(標(biāo)配)

約1000L/min

約1500L/min

1000 & 1500L/min

安全裝置

門檢測(cè)開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等

 

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